ISO БПИ – БГПА - БНТУ

Университет

Одно окно

Услуги

Обучение иностранных граждан

Работодателям

Вакансии

Наука

Комплекс зондовых зарядочувствительных приборов и методов для диагностики, мониторинга и визуализации прецизионных поверхностей

Назначение: визуализация восстановленных изображений пространственного распределения электрического потенциала поверхности полупроводниковых пластин, компонентов датчиков ста­тического электричества для малых космических аппаратов и других изделий. Контроль скрытых дефектов и остаточных загрязнений (в следовых количествах).

Преимущества: используемые бесконтактные методики контроля позволяют проводить не­разрушающий контроль изделий с прецизионными поверхностями без их специальной подготов­ки и возвращать их обратно в производственный процесс. Имеет характеристики на уровне миро­вых образцов, аналогов в РБ не имеется.

Основные характеристики: контролируемые материалы: полупроводниковые пластины; по­лупроводниковые пластины с нанесенными на них пленками из металла и диэлектрика (оксиды); металлы, в том числе под диэлектрическими пленками; диэлектрики, композитные материалы; ди­апазон измерения электрического потенциала поверхности ±5 В; чувствительность в обнаружении остаточных загрязнений – до 1 атома на 107 атомов поверхности полупроводника; размеры скани­руемой поверхности – до 200×200 мм2; пространственное разрешение – до 0,1 мм.

Разработано: НИЛ полупроводниковой техники, кафедра «Информационно-измерительная техника и технологии» приборостроительного факультета БНТУ, д.т.н., профессор Жарин А.Л.

Тел.: +375 17 293 96 19, e-mail: Этот e-mail адрес защищен от спам-ботов, для его просмотра у Вас должен быть включен Javascript